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純凈的SF6氣體是無色、無味、無毒、不燃的惰性氣體，其自身的分解溫度大于500℃，在正常運行的情況下分解產物極少，但與金屬材料共存時六氟化硫，在200℃時就有可能發生微量分解。作為氣體絕緣組合電器（GIS）的絕緣介質，六氟化硫(SF6)氣體具有優良的絕緣和滅弧性能甲醇檢測儀，可以大大減小設備尺寸六氟化硫，因此廣泛應用于GIS和SF6斷路器等設備中。實際上使用中的SF6氣體總含有一定量的空氣、水分,六氟化硫，由于上述分解生成的多種低氟硫化物很活潑，即與 SF6 氣 體中的微量水分和氧氣等發生反應。由于SF6分解物與水分結合生成的HF .H2S .CO .SO2等化合物，均對設備內其他絕緣及金屬材料有強腐蝕作用，進而加速絕緣劣化，最終導致設備發生突發性故障。而GIS設備在安裝與運行過程中，由于GIS內部缺陷如電極表面毛刺、自由導電微粒、懸浮導體等造成局部放電或過熱等問題。

六氟化硫氣體電氣設備的絕緣材料經電暈、火花及電弧放電作用新型氣體報警器，還會產生多種有毒、腐蝕性氣體及固體分解產物。這些氣體主要有氟化亞硫酰（SOF2）、氟化硫酰（SO2F2）、四氟化硫（SF4）、四氟化硫酰（SOF4）、二氧化硫（SO2）、十氟化二硫（S2F10）、一氧十氟化二硫（S2F10O）等；固體分解產物主要有氟化銅（CuF2）、二氟二甲基硅［Si（CH3）2 F2］、三氟化鋁（AlF3）粉末等。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，還會生成SiF4、Si（CH3）2F2等產物。

六氟化硫氣體電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產物。

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